电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
仪器功能:
电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。可用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等。
放置地点:强磁场中心一楼大厅 仪器管理员:朱相德
邮箱: xdzhu@hmfl.ac.cn 联系电话:136 3706 3970
仪器功能:
电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。可用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等。
放置地点:强磁场中心一楼大厅 仪器管理员:朱相德
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