聚焦离子束扫描电子显微镜Helios G4 UX

仪器功能：

FIB-SEM双束电镜是具有聚焦离子(FIB)束和扫描电子显微镜（SEM)功能、可以同时实现SEM高分辨率表征和离子束精细加工的设备。

Helios G4 UX聚焦离子束扫描电子显微镜可扫描电镜高分辨表征、机械手转移样品、气体沉积、离子束精细加工及透射样品制备。

放置地点：交叉科研楼南 102

仪器管理员：汤进       联系电话：13126711980     邮箱：tangjin@hmfl.ac.cn